镀膜常用在相机镜头、近视、老花镜等矫正眼镜上使用。镀膜是在表面镀上非常薄的透明薄膜。目的是希望减少光的反射,增加透光率,抗紫外线并抑低耀光、鬼影;不同颜色的镀膜,也使的成像色彩平衡的不同。此外,镀膜尚可延迟镜片老化、变色的时间。眼镜镀膜常用药品:二氧化锆(ZrO?)、二氧化硅(SiO?)、ITO(增加镜片导电抗紫外线)、HT-100(防水膜,防止老化和氧化)。
镀膜原理:高电压电子枪将以上几种药品汽化,均匀分布在镜片表面。
原来磁场强弱虽不好进行控制,但同时工件也在同时运转,且是靶材原子多次沉积此案结束镀膜工序,在一段时间内虽然某些部位厚,某些部位薄,但另一个时间内,磁场强的作用下在原来薄的部位沉积上厚的,在厚的部位沉积上薄的,如此多次,整个膜层成膜后,均匀性还是比较不错的。
亚气的送气均匀性也会对膜层均匀性产生影响,其原理实际上和真空度差不多,因为亚气的进入,真空室内压强会产生变化,均匀的压强大小可以控制成磁控溅射真空镀膜机膜厚度的均匀性。
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通常光学镀膜要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa,对于蒸发源与基板距离较远和光学镀膜质量要求很高的场合,则要求压力更低。