光学镀膜是一种在光学器件表面上涂敷一层薄膜的工艺,目的是改善器件的光学性能。光学薄膜可以用于增加透射率、降低反射率、改变光学波长或频率等。
光学镀膜的工艺流程通常包括以下几个步骤:表面准备:在进行镀膜之前,需要对器件表面进行准备,以确保其清洁和平整。这可能包括去除油脂、灰尘和其他杂质,并进行表面研磨或抛光。
单层膜厚度
在单层反射镀膜中,膜厚度的精度是关键因素。膜层的厚度通常在0.1 ~ 2微米之间,具体厚度取决于光学元件的应用。如果满足需要的反射或透射波长,则反射和透射率将化。
蒸发源选择:选择适合镀膜的蒸发源材料。通常使用金属或氧化物,例如铝、银、二氧化硅等。选择材料的种类和厚度取决于所需的光学性能。蒸发:在真空环境中,将蒸发源加热到足够高的温度,使得蒸发源材料蒸发成气态。蒸发的材料会沉积在器件表面上形成薄膜