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离子镀 蒸发物资的份子被电子碰撞电离后以离子堆积在固体外面，称为离子镀。这类技巧是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技巧的联合。一种离子镀体系如图4[离子镀体系示意图],将基片台作为阴极，外壳作阳极，充入惰性气体（如）以发生辉光放电。从蒸发祥蒸发的份子经由过程等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加快打到基片外面。未电离的中性原子（约占蒸发料的95％）也堆积在基片或真空室壁外面。
与PVD相比，ALD的沉积率通常较低。但ALD制备工艺可通过大批量的产能来进行弥补。Beneq P400A 经过优化，可在批量生产中以更快的生长速度沉积高保形厚膜。为工业规模生产设计的原子层沉积系统。它们是从研发阶段到大规模的工业化生产的理想工具。将等离子体增强原子层沉积（PEALD) 工艺提升到一个全新的水平 — 将 PEALD 应用于大批量生产。
光学薄膜在高真空度的镀膜腔中实现。常规镀膜工艺要求升高基底温度(通常约为300℃)；而较先进的技术，如离子辅助沉积(IAD)可在室温下进行。I镀膜按其用途分类、特点及应用可分为:反射膜、增透膜/增透膜、滤光片、偏光膜/偏光膜、/匹配膜、扩散膜/片、增亮膜/棱镜片/聚光片、遮光膜/黑白胶等。相关衍生品种类有光学保护膜、窗膜等。通过在光学元件或独立基板上镀或涂一层或多层介质或金属薄膜或两者的结合，
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