精密光学镀膜-仁睿电子科技-精密光学镀膜加工厂
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离子镀 蒸发物资的份子被电子碰撞电离后以离子堆积在固体外面，称为离子镀。这类技巧是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技巧的联合。一种离子镀体系如图4[离子镀体系示意图],将基片台作为阴极，外壳作阳极，充入惰性气体（如）以发生辉光放电。从蒸发祥蒸发的份子经由过程等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加快打到基片外面。未电离的中性原子（约占蒸发料的95％）也堆积在基片或真空室壁外面。
与蒸发沉积不同，原子层沉积 (ALD) 的源材料不需要从固体中蒸发，而是直接以气体的形式提供。尽管使用了气体，但在真空室中仍然经常使用高温。在 ALD 过程中，前体以非重叠脉冲的形式传递，每个脉冲都具有自限性。该过程的化学设计使得只有一个单一的层可以依附每个脉冲，表面的几何形状不是限制因素。由此可对层厚度和设计实现非凡的控制。
光学镀膜分类认识 通过在光学元件或独立基板上镀或涂一层或多层介质或金属薄膜或两者的结合，来改变光波的传输特性，包括传输、反射、吸收、散射、极化和相位变化。光学镀膜制备作为精密制造领域之一，其精度往往达到纳米甚至微纳米级别，因此，其制备复杂性不言而喻，有时小的失误会导致完全损失，为镀膜制备带来极大的困难。
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