与PVD相比,ALD的沉积率通常较低。但ALD制备工艺可通过大批量的产能来进行弥补。Beneq P400A 经过优化,可在批量生产中以更快的生长速度沉积高保形厚膜。
基于丰富的经验和软件,Beneq可根据您的要求针对性地设计ALD膜层结构,以此获得的光学性能。
硅结构测试在硅结构测试中沉积保形的ALD薄膜堆层温度范围:20-300℃。
厚度:150毫米。
镀膜种类:增透膜,宽带增透膜,介质高反膜,金属反射膜,金属加强膜,金属导电膜,透明导电膜,前截止膜,后截止膜,偏振膜,增透+防水膜,高反+防水膜等等。
其他内容:透镜、棱镜、窗口片冷加工、胶合、中红外加工等。
则会造成该特定波长的反射光有相消的效应,因此反射光的颜色会改变。