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为了消除光学零件表面的反射损失,提高成像质量,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减反射膜。随着激光技术的发展,对膜层的反射率和透过率有不同的要求,而且可以应用于塑料制成的基底。图19.11展示一个操作者正在光学镀膜机前。抽真空主系统由两个低温泵组成。电子束蒸发、IAD沉积、光控、加热器控制、抽真空控制和自动过程控制的控制模块都在镀膜机的前面板上。








出射光线将与入射光线平行,因为 n1 = n4。由于光学元件的曲率,曲面上的光学镀膜并不是真正的平面平行结构。不过,由于镀膜较薄,这种近似仍然有效。1

反射定律表明,反射光线相对于表面法线的角度与入射角大小相等,但相对于表面法线的角度方向相反。

θ1=−θ2θ1=−θ2

如果从一个介质传递到另一个介质且折射率较低的光线的入射角大于由两种折射率的比值定义的材料临界角 (θC),



光学镀膜分类认识 通过在光学元件或独立基板上镀或涂一层或多层介质或金属薄膜或两者的结合,来改变光波的传输特性,包括传输、反射、吸收、散射、极化和相位变化。光学镀膜制备作为精密制造领域之一,其精度往往达到纳米甚至微纳米级别,因此,其制备复杂性不言而喻,有时小的失误会导致完全损失,为镀膜制备带来极大的困难。