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光学镀膜的特点是:表面光滑,膜层之间的界面是几何划分的,膜层在界面上的折射率可以发生跳跃,但在膜层是连续的,可以是透明介质,也可以是光学镀膜。其精度往往达到纳米甚至微纳米级别,因此,其制备复杂性不言而喻,有时小的失误会导致完全损失,为镀膜制备带来极大的困难。薄膜沉积的传统方法一直是热蒸发,或采用电阻加热蒸发源或采用电子束蒸发源。薄膜特性主要决定于沉积原子的能量,








什么是镀膜?薄膜沉积(镀膜)是在基底材料上形成和沉积薄膜涂层的过程,在基片上沉积各种材料的薄膜是微纳加工的重要手段之一,薄膜具有许多不同的特性,可用来改变或改善基材性能的某些要素。例如,透明,耐用且耐刮擦;增加或减少电导率或信号传输等。薄膜沉积厚度范围从纳米级到微米级。常用的薄膜沉积工艺是物理气相沉积(PVD)与化学气相沉积(CVD)。

不同镀膜技术的比较 (IAD:离子辅助沉积,IBS:离子束溅射,ALD:原子层沉积)蒸发沉积在蒸发沉积过程中,真空室中的源材料通过加热或电子束轰击进行蒸发。在蒸发过程中,蒸汽冷凝到光学表面并控制加热、真空压力、基片定位和旋转,使特定设计厚度的光学镀膜保持均匀。与本部分所述的其他技术相比,蒸发沉积可以容纳更大的镀膜机尺寸,而且通常更经济有效。