光学真空镀膜-仁睿电子科技-光学真空镀膜厂商
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稳定的光学性能要求高度均匀性的薄膜材料。根据光学性能要求，典型的膜层厚度均匀性要求在1%左右。与PVD不同，ALD镀膜无论对于纳米结构的微观层面或任意形状光学器件的宏观层面，都是理想的镀膜解决方案。由于ALD通过饱和化学反应形成单一膜层，因此您可以原子级精度调整光学材料特性。这为工业量产化提供了出色的可重复性且能有效地控制膜层厚度。
等离子溅射在蒸发沉积和离子束溅射之间实现了价格和性能的折中。离子束溅射 (IBS)在离子束溅射 (IBS) 过程中，利用高能电场加速离子束（图 5）。这一加速度会给离子提供显著的动能 (~10-100 eV)。当源材料受到冲击时，源材料离子从目标“溅射”，并在与光学表面接触后形成致密膜。5 使用 IBS 镀膜而不是蒸发沉积的一个主要优点是能够更地监测和控制单个镀膜的生长速度、能量输入和氧化水平。
光学薄膜在高真空度的镀膜腔中实现。常规镀膜工艺要求升高基底温度(通常约为300℃)；而较先进的技术，如离子辅助沉积(IAD)可在室温下进行。I镀膜按其用途分类、特点及应用可分为:反射膜、增透膜/增透膜、滤光片、偏光膜/偏光膜、/匹配膜、扩散膜/片、增亮膜/棱镜片/聚光片、遮光膜/黑白胶等。相关衍生品种类有光学保护膜、窗膜等。通过在光学元件或独立基板上镀或涂一层或多层介质或金属薄膜或两者的结合，
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