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电场对离化的蒸气份子的加快感化(离子能量约几百~几千电子伏)和离子对基片的溅射洗濯感化,使膜层附着强度大大进步。离子镀工艺综合了蒸发(高堆积速率)与溅射(良好的膜层附着力)工艺的特色,并有很好的绕射性,可为外形繁杂的工件镀膜。接通高频电源后,高频电压赓续转变极性。等离子体中的电子和正离子在电压的正半周和负半周分离打到绝缘靶上。因为电子迁徙率高于正离子,绝缘靶外面带负电,








薄膜沉积的传统方法一直是热蒸发,或采用电阻加热蒸发源或采用电子束蒸发源。薄膜特性主要决定于沉积原子的能量,传统蒸发中原子的能量仅约0.1eV。如果蒸发沉积的原子在基底表面的迁移率低,则薄膜会含有微孔。当薄膜暴露于潮湿的空气时,这些微孔逐渐被水汽所填充。因而,折射率是蒸发材料在真空中的折射率,而不是暴露于潮湿空气中的材料折射率。

如果从一个介质传递到另一个介质且折射率较低的光线的入射角大于由两种折射率的比值定义的材料临界角 (θC),则会发生全反射,光线将完全反射(图 4)。入射角等于临界角时,折射角等于 90°。两种光介质界面的透射和反射的振幅系数由菲涅耳透射和反射方程决定: 3

(5)ts=2n1cosθ1n1cosθ1+n2cosθ2ts=2n1cos⁡θ1n1cos⁡θ1+n2cos⁡θ2

(6)rs=n1cosθ1−n2cosθ2n1cosθ1+n2cosθ2rs=n1cos⁡θ1−n2cos⁡θ2n1cos⁡θ1+n2cos⁡θ2