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光的干涉在薄膜光学中广泛应用。光学薄膜技术的普遍方法是借助真空溅射的方式在玻璃基板上涂镀薄膜，一般用来控制基板对入射光束的反射率和透过率，以满足不同的需要。薄膜沉积的传统方法一直是热蒸发，或采用电阻加热蒸发源或采用电子束蒸发源。薄膜特性主要决定于沉积原子的能量，传统蒸发中原子的能量仅约0.1eV。薄膜的光学性质，如折射率、吸收和激光损伤阈值，主要依赖于膜层的显微结构。填充密度定义为薄膜固体部分的体积与薄膜的总体积(包括空隙和微孔)之比。显示屏渐变加工
光学薄膜的技术和直接影响到应用系统的性靠性及成本。光学镀膜技术在过去几十年实现了长足的进展，从舟蒸发、电子束热蒸发及其离子束辅助沉积技术发展到离子束溅射和磁控溅射技术。相对于间接光控和晶控系统，间歇式直接光控系统有利于降低实际产品上的薄膜厚度分布误差，可以进一步提高产品良率并减少了工艺调试时间。磁控溅射薄膜沉积过程控制简单，粒子能量高，获得的薄膜结构致密稳定。
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